Industrie Mag - Le journal de l'industrie.

Le groupe NanoMIR de l’Université de Montpellier, leader mondial des matériaux semi-conducteurs composés à base d’antimoniure, a commandé un système MBE de recherche Compact 21 DZ multi-chambres entièrement automatique. L’acquisition de l’équipement a été financé par le Programme d’Investissements d’Avenir (PIA) géré par l’Agence Nationale de la Recherche (ANR) (Projet « HYBAT », ANR-21-ESRE-0026).

Le système comprend deux chambres configurées pour la croissance MBE de composés contenant des antimoniures (III-Sb) et une troisième pour le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à distance (RP-CVD) de SiGe. Pour optimiser le contrôle du processus, le système sera équipé du nouvel instrument EZ-CURVE® de Riber, un outil de métrologie permettant un contrôle de précision in situ en temps réel et la caractérisation du processus de croissance par MBE. Ce système multi-chambres sera destiné au développement de nouveaux matériaux photoniques infrarouges III-V déposés sur des plaquettes de silicium et de nouvelles structures quantiques, domaines d’intérêt stratégique dans toute l’Europe.

Le professeur Eric Tournié, responsable du groupe MBE à l’université de Montpellier, explique : « Le nouveau cluster Compact 21 va étendre et renforcer les capacités actuelles de nos clusters Riber MBE 412 et Compact 21, et nous offrir un plus large éventail de possibilités à explorer dans le cadre de nos activités de recherche et développement axées sur les dispositifs IR et quantiques de longueur d’onde moyenne à longue. Nos équipements MBE RIBER existants ont été exceptionnellement stables et reproductibles à court et long terme ; un prérequis pour développer les structures complexes III-Sb nécessaires à notre travail. Nous sommes déjà familiarisés avec le nouvel outil EZ-CURVE® dont nous savons qu’il optimisera notre capacité en termes de précision et de perfection alors que nous nous efforçons de développer des matériaux pour des dispositifs toujours plus exigeants. ».

Philippe LEY, Président du directoire de Riber, déclare : « Cette nouvelle commande consolide la position sans équivoque de Riber en tant que leader mondial en équipements MBE destinés aux matériaux optoélectroniques contenant des antimoniures. »

La gamme de machines de recherche Compact 21 de Riber est la plus polyvalente et la plus complète du marché avec les plus hauts standards de référence pour les matériaux III-V, II-VI, nitrure et oxyde.

https://www.riber.com/