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Table Piezoélectrique de précision adaptée au positionnement d’objectif ou d’optique

Publication: 31 mai

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Déplacement de 400 μm en boucle fermée et de 450 μm en boucle ouverte. Remarquables performances pour un positionnement en point à point ou en balayage. Conçu pour les grands objectifs à ouverture numérique élevée...
 

La table de nano-positionnement piézo QFOCUS® QF-50 d’Aerotech est conçue pour le positionnement des objectifs et optiques des microscopes hautes performances. Il se distingue par un déplacement de 400 μm en boucle fermée et de 450 μm en boucle ouverte, une haute vitesse, une linéarité de 0,01%, une résolution sub-nanométrique et une répétabilité bidirectionnelle de 4 nm. L’étage de nano-positionnement QF-50 est adapté aux instruments optiques et aux applications de micro-usinage laser de prochaine génération. En raison de sa conception mécanique à haute rigidité, le QF-50 surpasse les offres concurrentes de scanners piézo grâce à des objectifs plus grands, à ouverture numérique supérieure. Le QF-50 est idéal pour les applications de positionnement d’optiques exigeant une précision et un rendement élevés couplés à de grands déplacements

Conception de précision

Le QFOCUS QF-50 est guidé par des segments flexibles de précision optimisés à l’aide d’une analyse par éléments finis pour une rigidité et une fréquence de résonance exceptionnelles permettant une haute cadence d’utilisation et une très forte bande passante. Des précautions méticuleuses ont été prises pour la conception du support à flexion du QF-50 afin de garantir des performances géométriques exceptionnelles avec des erreurs de rectitude inférieures à 40 nm sur l’ensemble de la plage de déplacement.

Rétroaction par métrologie directe

La boucle fermée optionnelle est faite à l’aide d’un capteur capacitif de conception exclusive, qui permet une résolution sub-nanométrique et une linéarité élevée. A la différence des jauges de contrainte à feuille mince ou des capteurs piézo-résistifs, les capteurs capacitifs fournissent une mesure directe du chariot de positionnement pour une précision et une répétabilité améliorées.

Contrôle flexible et précis

Couplé aux contrôleurs et entraînements Aerotech de la série Q, le QF-50 bénéficie d’une résolution de positionnement et d’une stabilité en position (jitter) sub-nanométriques avec une bande passante de positionnement très élevée. Des options logicielles avancées comme Dynamic Controls Toolbox et Motion Designer, fournissent divers outils extrêmement efficaces et faciles d’utilisation dont notamment la commande d’apprentissage itératif, l’ « harmonic cancellation » et le « command shaping », qui assurent la réduction des erreurs de suivi et du temps de mise en position. Des options de drivers en version OEM sont également disponibles.

Flexibilité de montage

Le QF-50 est proposé avec des adaptateurs filetés convenant à la plupart des microscopes et objectifs. Le montage de la tourelle de microscope permet un positionnement simple et rapide selon l’orientation voulue. Par ailleurs, des trous taraudés sur le corps d’étage fournissent d’autres solutions de montage pour les interfaces personnalisées des machines ou autres instruments optiques. Le QF-50 est proposé en standard avec une ouverture dégagée de 29 mm de diamètre. Des version « custom », déplacements et adaptateurs filetés personnalisés sont possibles

http://www.aerotech.com

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